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多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
研究重点放在大面积多线圈的ICP等离子体耦合特性以及等离子体均匀性方面。通过对单线圈ICP等离子体的耦合特性研究提出一个基本的等离子体阻抗模型，为确定多线圈ICP等离子体的网络匹配参数提供依据；研究多线圈的几何结构、位形配置、线圈之间的互感等对等离子体的电子温度、密度以及能量分布的影响规律；阐明宏观参量对产生大面积均匀等离子体行为规律的影响，找到其与基片均匀刻蚀之间的内在联系，为满足深亚微...
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