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MEMS微型发电机系统的研究

2007年

应用技术

成果简介

　　本项目在国家“863”MEMS重大专项（2003AA404130）的资助下，针对国内外微电源研究的发展趋势和迫切需求，提出利用驻极体产生的电场对一对MEMS可变电容器的极化，以外界环境振动能实现MEMS可变电容器的变化来完成电荷在这对可变电容器之间转移的方法，将外界环境振动能转换为电能的MEMS微型发电机的新思想和新方法；进行MEMS发电机的相关基础理论及关键加工技术的研究，研制出MEMS微型...

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