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基于半导体激光——电荷耦合器件的微位移测量系统

2007年

应用技术

成果简介

　　基于半导体激光－电荷耦合器件的微位移测量系统，涉及一种精密尺寸及微位移的激光非接触测量系统。本发明由半导体激光器(LD)A1、光学装置A2、电荷耦合传感器(CCD)B、LD驱动电路C1、CCD激励电路C2、信号调理单元D、时间－电压变换单元E、数字采集处理单元F、数字表G组成；本发明的光学结构或为直射式光学结构，或为反射式光学结构。本发明为非接触测量，适用于工件加工过程中加工精度的检测，大型转...

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