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URE—2000A型i线深度曝光光刻机

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　该机在深度曝光光刻机系列中具有突出的特点，成功采用一千瓦大功率汞灯照明电源系统；采用球气浮自动调平调焦技术；采用高倍率双目双视显微镜及CCD图像对准技术；采用侧壁增陡技术和提高光刻分辨力等先进技术；具备接触和绝对不接触曝光方式；具备定时、定剂量两种曝光剂量设定功能；具有分辨力高、套刻准、线条陡直、线条高宽比大、曝光速度快等特点，成为我国应用于毫米量级深层光刻工艺生产的新型i线光刻设备。
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