国家科技成果网
热门搜索:  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

国家科技成果网 首页 成果 查看内容

MO源产业化现代测试技术及合成、纯化的高效生产技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
近十多年来,随着金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术产业化的突破,化合物半导体材料的应用越来越多,而发展MOCVD技术的关键之一就是必须有高纯度的金属有机化合物(MO源)。江苏南大光电材料股份有限公司的这项成果研究了MO源产业化生产过程中的质量监控及最终产品的检测,通过ICP-OES和ICP-MS配合使用检测近50种元素,检测的杂质元素种类以及主要杂质元素的检测灵敏度达到国际先进水平;同...
相关成果

标签云

相关机构

Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位:科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统