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单色及双色大面阵量子阱红外探测器

2007年

应用技术

成果简介

本课题由半导体研究所和11所合作，通过优化器件结构设计、超薄层材料层结构设计和生长、大面阵芯片工艺设计和器件制备、倒装互联、读出电路设计制作、微制冷技术、测试技术等一系列关键技术的突破，在国内首先制备出长波160×128元GaAs/AlGaAs多量子阱红外焦平面阵列和长波/中波160×128元双色红外探测器。前者在77K时，器件的平均峰值探测率Dλ*=1×1010 cm W-1 Hz1/2...

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