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ZnO短波长激光器若干关键技术研究

2007年

应用技术

成果简介

本项成果发展了研制ZnO晶体、薄膜及发光器件的技术与方法，形成了一整套具有自主知识产权的技术，包括自行研制的ZnO单晶衬底、自行研制的ZnO金属有机化学气相淀积（MOCVD）系统、ZnO材料的MOCVD同质外延技术、ZnO p型掺杂原位控制技术与激活技术等。提出了提高水热法生长ZnO晶体生长效率和质量的方法与技术，通过将两块晶片按照-C面相对拼装在一起或直接在晶片的-C面涂覆上一层金属涂层...

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