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静电键合技术模型模拟与IP库

2007年 应用技术
  • 成果简介
本软件基于全新的静电键合工艺模型，可实现不同温度与电压下的静电键合工艺过程及结果的可视化仿真。采用微软的VC＋＋语言与SQL Sever数据库编写了工艺仿真主程序及可视化仿真模块。开发了可在Windows操作系统上独立运行的静电键合工艺仿真软件。可对点电极、平板电极、多点电极等多种电极结构及键合电压、键合温度等工艺参数下的键合扩散过程、键合电流、键合时间等静电键合行为特性及参数进行可视化仿...
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