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基于双重驱动的高速高精度机器人系统及控制方法的研究

2007年 应用技术
  • 成果简介
本课题针对IC制芯关键装备、IC后封装设备等对高速高精度作业系统的实际需求，研制出两种基于双重驱动的高速高精度机器人系统：一、采用直线电机和压电陶瓷双重驱动的全闭环一维直线运动系统一套，宏微驱动结合实现3nm分辨率，重复定位精度±10nm，稳定时间38ms；二、基于直线电机及压电陶瓷驱动的两自由度平面并联机器人系统两套，运动分辨率小于1μm，刚性杆系统重复定位精度±1.5μm、稳定时间58...
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