首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

特种耐高温微型压力传感器产品开发

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　该项目是以SOI为敏感材料制造耐高温型压力传感器，其芯片采用半导体平面工艺制造，用各向异性腐蚀方法对芯片进行微机械加工，采用经典封接等工艺制成耐高温硅压力传感器。
　　传感器工作温度为-65摄氏度到250摄氏度，最小量程：0～300mm水柱，最大量程：0～100Mpa，精度：0.2%，具有体积小、工作温度宽、抗粘污能力强、长期稳定性好等特点。传感器制造工艺与半导体工艺兼容，制造成本...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统