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科研内容向教学转化——金属薄膜电阻率的测量

2007年 应用技术
  • 成果简介
  任务来源:北京科技大学国家工科物理基础课程教学基地立项项目。
  应用领域和技术原理:把当前科研开发中使用的标准四探针测量金属薄膜电阻率的方法引进到工科物理实验中。使学生们能够掌握微电子技术中实用的测试方法。提高本科生实验课教学的档次。项目主要内容:用标准四探针测量金属薄膜的电阻率。通过测量不同厚度的金属薄膜的面电阻,用公式计算出金属薄膜的电阻率,从而获得金属薄膜的电阻率同薄膜厚度...
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