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面向MEMS组装的微操作机器人

2007年

应用技术

成果简介

针对MEMS器件的组装(微装配、封装、微连接等)作业，开展宏微精密定位、作业工具、显微视觉系统等关键技术研究，并将若干单元技术集成，以高温压力微传感器封装为对象，研制出能够完成微装配任务的微操作设备，实现了典型MEMS器件装配的自动化和批量化，带动了MEMS组装通用关键技术的研究。
技术指标
1、操作对象：芯片：方形，2.7×2.7×0.5mm。玻璃...

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