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纳米精度磁悬浮工作台

2007年 应用技术
  • 成果简介
超精密工作台是IC制造设备、超精密加工及MEMS的核心技术之一。本项目为一个完全自主开发的6自由度纳米精度磁悬浮工作台，利用磁悬浮技术，消除了摩擦力，可实现纳米精度高性能定位与轨迹控制；同时也不需要润滑剂，可在真空环境中工作。磁悬浮系统的电磁铁及传感器设计独到，体积小，功耗低，工作稳定；磁悬浮控制系统采用基于PC的数字控制，具有良好的开放性。该工作台为实现纳米精度运动控制提供了一项新的技术...
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