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检测槽宽与深均匀性的测试仪

2000年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　一种检测槽宽与深均匀性的测试仪，包括带有两个凸台的底座。聚焦透镜和反射镜将激光束聚焦在置于带滚珠轴承的丝杆导轨上的旋转步进电机上的被测基片上，被测基片被平移和旋转地完成扫描。
经被测基片的衍射光束被置于上方半环形支架上三个光电探测器接收，信号采集器件将信号输进计算机内进行处理显示。
主要适用于光盘基片槽宽与深均匀性的检测。...
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