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高效多晶硅太阳电池关键技术及中试研究

2007年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　项目组深入研究了多晶硅太阳电池的制备技术和工艺，以提高光电转换效率，其中，具体包括：1、表面陷光工艺：采用各种工艺技术，如酸溶液腐蚀、碱溶液腐蚀或RIE方法来制作绒面，目的是增加光在电池内的光学路径，减少表面的反射，寻找一种有效的表面织构工艺技术；2、吸杂和钝化工艺：通过浓磷吸杂和铝吸杂工艺，以及二氧化硅和氮化硅的钝化技术来提高产品寿命和扩散长度，增加光电流密度；3、烧穿工艺：传统制作工艺中是...
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