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一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用

2006年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本发明的目的在于提供一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用，属于光纤通信领域。为反射式可调光衰减器提供一种利用MEMS技术制作的工艺实现简单，静电驱动的扭转微镜驱动器。本发明的驱动器利用静电力驱动，通过施加较小的电压，可以使得微镜面扭转一定角度，通过镜面扭转的小角度来改变反射光耦合，不同的角度改变引起相应的光信号衰减量。...
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