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高温稳定的超硬纳米多层膜微观结构设计与合成

2007年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　利用直流和射频磁控溅射技术，以及离子束辅助沉积技术完成了以锆、钨、钛、铬、钽、铌、钒等过渡金属氮化物、碳化物、硼化物(包括锆铝合金氮化物)等为主要单质薄膜之间合适匹配的纳米多层膜体系的设计合成工作。对于过渡金属硼化物和碳化物的合成，直接使用了复合靶；对于过渡金属氮化物的合成，不仅使用了Ar-N_2混合反应气体反应溅射方法(或N离子束辅助轰击的方法)，而且加入了Ar-N_2-NH＿3的创新性工艺...
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