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离子注入表面改性技术

1995年 应用技术
  • 成果简介
该技术包括两部分内容。
1.成都发动机公司将原子核物理中的辐照技术应用于材料科学，对材料表面实施改性，从而达到提高材料（零件）表面耐磨、抗蚀等工业实用性能的目的。该技术包括离了注入工艺和多功能离子注入系统，其功能包括气体离子的直接注入、离子溅射沉积膜及两功能的结合。多功能离子注入系统由加速器、溅射枪和靶室等组成。采用的加速器能量为50～200keV，流强1～3mA，束斑...
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