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大直径光学晶体生长设备的研制开发及大直径光学晶体规模化生产、硅单晶片线切割设备国产化

1999年 应用技术
  • 成果简介
研究具有国际先进水平的大直径光学晶体炉、能控制50-75mm大直径光学晶体并完成规模化生产的建设工作，提供关键设备，满足国内外的设备需求，设备与晶体年产值超过7000万元。研制国内尚属空白的硅片切割设备，并达至瑞士同类产品水平，提供优良切割设备，满足国内急需，投产后可为国家节约大量外汇。...
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