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千兆赫声表面波器件批量生产技术研究

1999年 应用技术
  • 成果简介
该项目采用低插耗设计技术和高声速波模和切型、步进投影光刻机转移亚微米图形、剥离等先进技术完成铝膜电极制作,部分产品采用表面贴片封装,进行全面质量管理,提高成品率。总体目标是完成压电基片亚微米电极图形制作技术,批量生产移动通讯用品9MHz频段滤波器,初步形成国内领先的月产30万只器件规模的产业化基地。...
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