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微电子材料与器件微分析技术

1999年 应用技术
  • 成果简介
该成果包括：(1)微区形貌、微区杂质、薄膜组份、有机沾污、痕量杂质等分析技术；(2)微电子材料质量分析、微电子工艺诊断、成品率和可靠性分析等；(3)微电子器件纵向剖面定位术、微米级IC的综合结构分析、硅片的吸杂工艺优化，封装新材料与新工艺。各成果的技术经济指标如下：微分析技术：建立了微米级IC器件的TEM制样和分析技术；建立了FIB微区定位分析和微加工技术；提高了对微米级器件、工艺和材料的综合分析...
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