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微机械力学性能测试仪

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
1、课题来源、背景：
国家重点基础研究发展规划项目《集成微光机电系统》子课题“微机械材料力学特性相关问题研究”（G1999033103）；国家自然科学基金项目“微机械构件服役性能与制备工艺关系的研究”（ED5020203）；教育部博士点基金项目“表面微观形貌在线检测技术的研究”（1999069821）；机械传动国家重点实验室开放基金项目。
研制开发一种价格适...
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