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集成电路(IC)非接触式全场测量系统

2005年

应用技术

成果简介

集成电路(IC)是当今世界科技、军事、工业、民用等领域最普遍应用和生产的器件，由于芯片质量的重要性，必须在生产线进行逐一检测，因此对测量系统有很高的要求。国外广泛使用的技术是光扫描三角测量技术，如美国的RVSI公司以及VIEWENGINEERING公司等，都是采用这一技术。其中RVSI公司的产品占有全球微电子业IC生产线检测系统40%左右的市场，其每年的产值高达数十亿美无。但是激光扫描三角测量系统...

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