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氮化镓基器件用衬底材料-蓝宝石单晶的制备与晶片加工

2005年

应用技术

成果简介

GaN是一种新型的宽禁带半导体材料，它是制备能发出纯蓝光半导体器件的最佳材料之一，是一种新型的光电子材料，被称为“第三代半导体材料”，有“IT产业发动机”之称。GaN主要用于制作蓝光盘LED及LD用它制作的LED以及LD广泛用于军事及民用领域。蓝宝石单晶是这种新型材料的衬底材料，GaN的兴起必将带动蓝宝石材料的兴起。GaN单晶制备极难，目前国内外都是利用在蓝宝石衬底上外延生长片制备。蓝宝石单晶研制...

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