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带有预测化合物半导体合成裂管实时监控装置的合成炉

2003年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
碲化镉（或碲锌镉）化合物半导体的合成很难在较低的温度下充分化合，在较大直径的石英坩埚中合成碲化镉（或碲锌镉）更是如此，当高熔点的合成料缓慢熔化时，未反应的单质镉产生的超过石英坩埚的压力而导致裂管。本发明的合成过程监控装置及特别的散热结构设计能够有效地解决这一问题，从而避免了合成裂管问题的发生。...
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