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用于MIMIC电路的GaAs VPE材料

2005年

应用技术

成果简介

1.成果内容简介：自行设计了微机控制立式GaAsVPE设备，其具有独特型式的喷置，有利于减小气流的“死空间”；精巧的Ga舟组合保证外延生长正常进行；衬托旋转。转速可调，有利于改善均匀性；生长过程用微机控制，工艺条件重复性好、操作方便。该项生长技术是采用汽相外延(VPE)方法，在φ51-76毫米(2-3in)的半绝缘GaAsVPE的心脏，连续生长多层结构的GaAs外延材料，材料具有不同的电参数和厚度...

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