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电子化学气体及高纯气体终端纯化器和净化技术

2005年 应用技术
  • 成果简介
一、成果内容简介：电子化学气体电子工业中超大规模集成电路微细加工过程中的关键性基础化工材料，主要用于外延、刻蚀和腐蚀等工艺；高纯氢和高纯氮主要用作运载气、保护气和混合气的底气。电子化学气和高纯气的纯度和洁净直接集成电路的成品率和可靠性。2.关键技术：(l)以多晶硅厂废液为原料，脱除其中的元素和金属杂质，脱除深度达ppb级。(2)在SiH_2Cl_2和Cl_2的纯化中，筛选出吸附剂的改性技术。(3)...
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