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用于材料表面改性用离子源技术

2004年 应用技术
  • 成果简介
该研究室已开发出一系列用于离子镀膜、离子刻蚀、离子注入、辅助镀膜、离子清洗等工艺中的离子源，以及离子源用电源。研制的离子源产品有：1.冷阴极离子源：研制的冷阴极离子源具有结构简单，引出束流大的特点。目前已有引出口径为6，9 和20×5 的离子源产品提供给客户，引出束流分别有几十到几百 ，放电电流几百到几，引出电压可以提供有100-1500可调和500-30可调的2种电源，在离子束照射的有效范围内不...
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