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掺氮直拉硅单晶缺陷与性能的研究

2003年

应用技术

成果简介

该项目系统开展了掺氮直拉硅单晶相关缺陷与性能的基础理论研究，在科学上揭示了相关缺陷的结构、性质、作用及规律，这些理论研究成果，形成了对掺氮直拉硅单晶相关缺陷的较完整的物理理解。该项目在学术刊物发表SCI检索论文34篇，EI检索论文8篇(不和SCI重复检索)，其中SCI论文占国际SCI检索同类论文的47%，SCI刊物他引54次，国际会议报告36次，其中大会邀请报告3次，国家发明专利1项。该项目解决了...

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