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氧化锌紫外光电探测器器件制备技术

2003年 应用技术
  • 成果简介
该氧化锌紫外光电探测器器件制备技术包括以下步骤：1)在氧化锌薄膜表面旋涂一层光刻胶，一次光刻刻出电极图形，除电极图形外，其余部分仍覆盖光刻胶涂层；2)用磁控溅射法在氧化锌薄膜表面沉积金属层，使金属层的厚度小于光刻胶涂层的厚度；3)将覆盖了金属层的氧化锌薄膜放到可溶解光刻胶的丙酮溶液中进行超声清洗，洗去光刻胶及沉积在光刻胶表面的金属层；4)在保护气氛下退火，去除电极表面有机沾污、提高欧姆接触特性。该...
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