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电磁驱动微机械可变式光衰减器

2003年 应用技术
  • 成果简介
该电磁驱动微机械可变式光衰减器主要包括：光纤定位结构、硅弹簧、铁镍薄片、挡光片、电磁驱动线圈、单模光纤等。单模光纤设置于定位结构上表面的V型槽中，定位结构通过下表面的定位槽装配在带有硅弹簧、铁镍薄片和挡光片的硅基片上；在此硅弹簧中心平面上电镀一层铁镍材料，电镀铁镍薄片与该弹性支撑面垂直；硅弹簧、铁镍薄片及挡光片被固定于包含电磁线圈和铁镍薄片的铁氧体上。...
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