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液相外延生长薄膜衬底夹具

2003年 应用技术
  • 成果简介
该发明专利是一种用于液相外延薄膜生长的衬底夹具。其特征为：它由一衬底夹盘的顶面过圆心垂直向上接设一连接杆构成。该衬底夹盘的底面设有半圆弧形包边形成一衬底定位腔，与该半圆弧形包边相对在该衬底夹盘上设有定位通孔，该连接杆上端还设有一通孔。该液相外延薄膜生长衬底夹具可使衬底在溶液中作高速旋转，既能起到搅拌作用，使衬底周围各处溶液浓度更趋于平衡和均匀，又可解决温场不均匀带来的生长差异。该液相外延薄膜生长的...
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