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有机薄膜晶体管开关器件

2003年 应用技术
  • 成果简介
该发明专利是一种有机薄膜晶体管开关器件及制作方法。其工艺为将含有遮光层的顶电极构型器件的源漏电极置于有机半导体层之上，其中，栅极在基板上，绝缘层在栅极和基板上，有机半导体层在绝缘层上，低介电有机光刻胶岛在有机层上，源极和漏极在绝缘层和有机半导体层上，遮光层在光刻胶岛上；在基板上溅射一层金属并光刻成栅电极；真空热蒸发有机半导体材料作为有源层并光刻，采用干法RIE反应离子刻蚀成型；涂光刻胶，以栅极为掩...
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