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射频微电子机械单刀双掷开关

2002年 应用技术
  • 成果简介
该专利为射频微电子机械单刀双掷开关及其制造方法,属于微电子机械领域。每个单刀双掷开关中共有三条共平面波导,一条作为信号输入端,另二条和信号输入端相连形成一种一分为二的分支结构。每个分支线上各有一个电容和一个加电压端。分支线上两条平面波导各构成一个微机械开关(MEMS)。通过分支线上外加电压端交替施加电压实现单刀双掷开关的功能,从而实现隔离度高、插入损耗小而又体积小、成本低的目的。...
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