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光学非球面测试技术

2004年 应用技术
  • 成果简介
该研究用于解决各种光学非球面面形的测试问题。完成了激光扫描法、浸液干涉法、条纹扫描剪切干涉法、条纹扫描泰曼-格林干涉法测量光学非球面面形的测试技术研究及装置的研制。在测量范围内非球面测试精度为0.1λ。研制成干涉图事后处理系统，该系统可完成干涉图的自动采集、判读处理、输出Zernike多项式系数、波差值及波面三维立体图。该项研究已通过兵器工业总公司组织的技术鉴定并获兵器工业总公司科技进步二等奖。市...
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