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气电式尺寸和位移传感器

2004年 应用技术
  • 成果简介
气电式尺寸和位移传感器是该校在机械工业技术发展基金资助下研制开发的新一代尺寸测量传感器。现在广泛应用在汽车、拖拉机、轴承等机械工业的尺寸测量气动量仪,通常的线性工作范围为0-100μm,少数可达200μm,精度为0.1-1μm。为扩大气动量仪的测量范围,该校研制了两类气动传感器,一类是提高测量精度到0.01μm级的,另一类是扩大测量范围到几毫米级的,并与气电式转换器集成一体,大大扩大了气动量仪的应...
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