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高频加热设备与负载匹配的研究

2003年

应用技术

成果简介

该课题确定了在不同负载下，高频介质加热设备与负载匹配的匹配条件与方法。高频加热设备的负载处于临界状态或超出高频加热设备对负载匹配调整范围时，在高频加热设备与负载之间加入匹配电路，使高频加热设备与负载达到匹配的目的。高频加热设备的输出电流（工作频率：13.56MHz；Io=Ia-Ig）：当Va=6kV（或额定阳极电压）时，Io＜2A（或额定阳极电流）；当Va=8kV（或额定阳极电压）时，Io＜1.5...

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