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微型压阻式加速度传感器

2000年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
该成果是“九五”国家攻关课题。该传感器采用微机械技术制造的硅质梁岛结构。它与被测物加速时，硅岛的惯性欲使它保持原状，梁就变形，梁上的扩散电阻电桥有输出，表征相应的加速度。应用范围：该成果填补了国内空白，广泛应用于平台、制导、弱振动等。...
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