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计算机控制三维精密光学平台

2003年 应用技术
  • 成果简介
成果简介：计算机控制三维精密光学平台是用计算机控制平台的三维运动。主要技术指标：1.精度：小于10μm；2.三维行程：水平运动560mm，垂直运动520mm；3.可作任意轨迹运动；4.扫描速度：2mm/s-30mm/s；5.承载样品重量：大于50kg；6.承载样品尺寸：小于500×500×600mm；该项目可用于大尺寸样品的精密扫描、精密对接、精密送料、精密细微加工。大尺寸、大重量样品的精密对接、...
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