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微电子工业特种气体-高纯三氟化氮

2003年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
高纯三氟化氮是一种微电子工业中使用的特种气体，在集成电路的生产中用作蚀刻剂和清洗剂，在大屏幕液晶显示屏的生产中用作清洗剂，具有快速、高效等优点，高纯三氟化氮是采用电解氟化氢铵和氟化氢的熔融体系产生的三氟化氮粗品经过预处理和进一步纯化精制而获得的，该工艺技术先进，实现了安全生产，获得纯度为99.99%的高纯三氟化氮。达国际先进水平。...
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