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0.8微米CMOS工艺技术

2001年 应用技术
  • 成果简介
0.8微米工艺技术的开发是在原0.1－1.5微米标准工艺加工平台技术的基础上，增加关键工艺没备，通过工艺试验开发出各个0.8微米工艺模块，并通过PCM技术不断检查与优化工艺模块，最终用评估电路来验证。0.8微米工艺技术自主开发并具有知识产权。它的开发成功打破了西方国家对中国微电子加工领域的垄断，缩小了与国际先进水平的差距。...
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