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晶体生长设备系列产品

2003年 应用技术
  • 成果简介
硅单晶炉、激光晶体及氧化物晶体生长设备是采用直拉法生长硅单晶、激光晶体及氧化物晶体的专用电子设备，所生长的电子或光电子材料是信息技术最基本的功能材料，是信息和通讯技术革命的主要驱动力。西安理工大学工厂自1961年研制成功中国第一台单晶炉以来，己定型生产了8大系列，40余个品种的晶体生长设备，涉及半导体、光学、化合物、氧化物、氟化物等晶体材料、合金材料及高纯金属等高技术领域。其中大直径硅单晶炉和大直...
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