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多波长相移干涉技术研究

2001年 应用技术
  • 成果简介
该项目为上海市青年科技启明星计划。多波长“数字光学轮廓仪”是集光学、机械、电子、计算机于一体的典型高科技产品，运用国际先进的相移干涉术，创新地采用了高精度多波长相移误差不灵敏新算法、快捷和可靠的相位调解新算法、相移器高精度在线控制和定标等技术，扩展了单波长相移干涉术的测量范围，达到了以下测量指标：可测表面粗糙度范围：Ra=0.5纳米-100纳米；测量重复性：表面粗糙度Ra标准方差优于0.1纳米；单...
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