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离子感生电荷（IBIC）显微术研究

2003年 基础理论
  • 成果简介
　　微米离子束感生电荷（IBIC）显微技术是研究新型半导体材料和微电子器件的微观结构和电学特性的一种新工具，本项目在原来的高分辨率长焦距扫描核探针基础上，建立IBIC测量系统，对一些半导体和其它新材料的微观结构和特性进行测量和研究，其最小束流达到fA，最小空间分辨率达到微米。运用新建的IBIC显微技术，研究了新型半导体材料和微电子器件的微观结构和电学特性，并且联系到它们制造工艺的确定。被研究的内容...
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