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绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法

2001年 应用技术
  • 成果简介
该发明是绝缘体上的硅高温超高压力传感器的制作方法。这种传感器又称为S01硅高温超高压力传感器，属于电子信息领域。该发明提供的方法最关键是采用S01技术解决敏感元件和弹性元件的高温电隔离，以硅和耐热玻璃环的静电键合为边界的钳制条件实现高量程和高线性输出。用该方法制作的压力量程在40-100MPa以上的高温超高压力传感器具有优于0.15％的非线性和大于100mV的满量程输出，以及小于0.1％的迟滞。...
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