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敏感膜-阴极复合型压力传感器

2001年 应用技术
  • 成果简介
这种敏感膜－阴极复合型压力传感器，由阳极、压力敏感膜、阴极电子发射膜、绝缘层构成了压力传感器；所说的压力敏感膜和阴极电子发射膜为一体。该发明使得传感器封装时只需使阴极图形与阳极电极引线相对应，对准精度可为几十微米至几百微米，大大降低了封装时阴、阳极对准精度要求，简化了封装工艺，对于提高传感器封装成功率、实现批量化生产有重要意义。...
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