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微晶碳化硅中饵室温发光的研究

2003年 基础理论
  • 成果简介
出于全硅化OEIC实现的愿望，硅基发光是关键，提高硅基材料发光效率有多种途径，其中掺杂工程相对而言是比较容易一些。重点是如何减少室温条件下由于能量回传造成的发光室温淬灭问题，为此提出以宽带隙uC-SiC材料为基质的Er-O复合体缺陷所产生的1.54微米波长光，
主要研究了以n型C-Si为基底高剂量注入C并进行高温退火，再结晶，去形成uC-SiC再以此为基质材料共注入Er...
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