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电子化学气及高纯气体终端纯化器和净化技术研究

2002年

应用技术

成果简介

电子化学气体的研制是一项复杂的系统工程，涉及到多学科，其中包括气体合成、提纯，ppm、ppb级杂质的分析检测，气瓶、管路的内表面处理，安全、环保及解毒等诸多技术。该课题中氢和氮终端纯化器主要用于生产高纯氢和高纯氮，用于配制混合气的底气，打破了这些产品长期依赖进口的局面。该技术的提纯方法采用吸附(常温、低温)、精馏、络合、终端吸附等工艺，对吸附剂等进行改性处理。主要技术经济指标：(1)SiH_2Cl...

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