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直拉硅单晶在高反压大功率器件中的应用

2001年 应用技术
  • 成果简介
通过改进直拉硅单晶生长技术，改善了电阻率的径向均匀性，控制了晶体中的氧浓度和微缺陷，研究开发出4－6英寸微氮和普通直拉硅单晶，以取代区熔硅单晶制造高反压大功率器件，降低了器件的生产成本。以无锡华晶电子股份公司为例，由于大量采用该项目研究开发的产品，两年来节约成本2000万元以上，导致同类国外产品基本退出中国市场。1999－2001年，该成果的直接经济效益为：增加产值1.3亿元、税金950万元、利润...
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