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金刚石膜应用基础研究-计算机编程控制CVD金刚石生长系统的研制与开发

2001年 应用技术
  • 成果简介
研制成功“计算机编程控制CVD金刚石膜生长系统”和新型光热偏转薄膜热导测试仪编程控制多步循环生长高质量、毫米级金刚石(无人值守)以及金刚石/硅碳氮多层膜;申请和获得专利2项,获得2项软件著作知识产权,发表论文45篇,在美国出版的专著“Crystal Growth for Modern Technology”中应邀撰写“CVD Diamond Growth”一章;推广所研制的设备两套,并对外提供热导...
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